+7 (495) 198-00-00 Горячая линия ситуационного центра Минобрнауки
по вопросам поддержки образовательных организаций высшего образования, а также их сотрудников и обучающихся, по вопросам профилактики распространения COVID-19 перейти на сайт МОН

Разработка базовой технологии производства МЭМС

Руководитель проекта: д.т.н., профессор Сергей Петрович Тимошенков
Телефон:+7 499 720-87-68

Ответственный исполнитель: профессор Института НМСТ Виктор Владимирович Калугин (e-mail: viktor118@mail.ru, моб.тел. +79165102433).

Назначение продукта:

pic2.pngТехнология изготовления сенсорных микроэлектромеханических систем, позволяющая создавать малоразмерные инерциальные сенсоры и датчики для различных областей промышленности и человеческой деятельности:

  • автомобилестроение, беспилотный транспорт и малоразмерные летательные аппараты;
  • бытовая, портативная и носимая электроника;
  • промышленность, устройства безопасности, системы стабилизации положения и тестовые стенды;
  • медицина и спорт.

Краткое описание:

Проникновение датчиков во все сферы жизни во многом произошло благодаря технологии МЭМС, которая, наконец, стала массовой и недорогой. Применение решений с одновременной обработкой показаний датчиков различного типа позволяет улучшать устройства потребительской электроники. Основная задача проекта состоит в разработке и освоении отечественной базовой технологии МЭМС. В качестве сигнальных изделий на основе базовой технологии будет изготовлена опытная партия МЭМС-акселерометра. Для изготовления данных изделий привлекаются индустриальные партнеры. Продуктом реализации проекта является базовая технология производства микро-электромеханических систем (МЭМС), позволяющая создавать изделия на уровне лучших зарубежных аналогов. Работы, проводимые в ходе выполнения НИР и ОКР, позволяют подготовить научную базу, провести исследования получаемых образцов, скорректировать выбранный технологический маршрут для изготовления российских МЭМС.

Основные пользовательские характеристики: Сигнальное изделие (сенсор линейного ускорения), выполненное по разработанной технологии, будет обладать следующими характеристиками: диапазон измерения не менее ±1g, нелинейность передаточной характеристики не более 10%, напряжение питания 3.3В или 5В, потребляемый ток не более 10мА, температурный диапазон от -40°С до +85°С.

pic1.png

Преимущества: полностью отечественная технология получения МЭМС-элементов.

Текущая стадия проекта: TRL 3 – имеются аналитические и экспериментальные подтверждения по важнейшим функциональным возможностям и/или характеристикам для данной концепции. Идет подготовка к созданию опытных образцов.