Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» (НИЛ ИИ)
Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» располагает следующим оборудованием:
- Оже-спектрометр PHI-670xi
- Стилусный профилометр Alpha-Step D-120
- Установка для ионного травления и полировки Fischione Model 1060
- ВИМС ToF SIMS 5
- Спектральный эллипсометр Horiba Jobin Yvon Auto SE
- Сканирующий зондовый микроскоп «SMART-SPM 1000»
- Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-6490 LV
- Растровый электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком FEI Quanta 3D FEG
- Многофункциональный рентгеновский дифрактометр Rigaku SmartLab