Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» располагает следующим оборудованием:

• Оже-спектрометр PHI-670xi
• Стилусный профилометр Alpha-Step D-120
• Установка для ионного травления и полировки Fischione Model 1060
• ВИМС ToF SIMS 5
• Спектральный эллипсометр Horiba Jobin Yvon Auto SE
• Сканирующий зондовый микроскоп «SMART-SPM 1000»
• Растровый электронный микроскоп JEOL JSM-6490 LV
• Растровый электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком FEI Quanta 3D FEG
• Многофункциональный рентгеновский дифрактометр Rigaku SmartLab