Научно-исследовательская лаборатория нано- и микроэлектромеханических систем (Н-МЭМС)

Начальник: Калугин Виктор Владимирович
Телефон:8(499)720-87-62

Научно-исследовательская лаборатория «Нано-микроэлектромеханических систем»

Лаборатория входит в состав Института нано и микросистемной техники МИЭТ.

1. Направления деятельности НИЛ Н-МЭМС

1. Основной целью Лаборатории является организация и проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР) Института НМСТ.

2. Основной задачей Лаборатории является проведение комплекса работ по подготовке, организации, выполнению технологических процессов изготовления изделий в рамках НИОКР.

3. Направлениями деятельности Лаборатории являются:

3.1. Научная деятельность:

DSC_0061.JPG

3.2. Участие в учебном процессе:

3.3. Внедрение на рынок разработанных в лаборатории новых типов электронных элементов и приборов.


3D акселерометр~1.jpg3D МЭМС~1.jpg