| Подразделение | Должность |
| Научно-исследовательская лаборатория электронной микроскопии (НИЛ ЭМИ) | в.н.с. |
Краткая биография
В 1978 г. закончил МИЭТ, в 1985 г. поступил в аспирантуру НИИМП, в 1988 г. окончил аспирантуру. Кандидат технических наук (1988). В настоящее время работает ведущим научным сотрудником в лаборатории электронно-микроскопических исследований МИЭТ.
Научная деятельность
Область научных интересов: плазмохимические и жидкостные процессы травления, оптическая микроскопия, препарирование и анализ ИС, анализ дефектов ИС.