| Подразделение | Должность |
| Институт перспективных материалов и технологий | доцент |
Краткая биография
Образование:- 2003 г., Московский институт электронной техники, кафедра МПТЭ.
- 2006 г., кандидат технических наук, Московский институт электронной техники.
- C 2007 г. – доцент кафедры Материалов и процессов твердотельной электроники;
- С 2013 г. – доцент кафедры Материалов функциональной электроники.
Читаемые курсы
- Процессы микро- и нанотехнологий
- Основы вакуумной техники
- Физико-химические основы технологии интегральных микро- и наноструктур
Научная деятельность
Области научных интересов: технология интегральных схем; материалы и процессы формирования наноструктур.