Подразделение | Должность |
Институт нано- и микросистемной техники | профессор-консультант |
Краткая биография
Действительный член Международной академии минеральных ресурсов и Академии промышленной экологии РФ.
Окончила Ленинградский технологический институт им. Ленсовета (1954 г).
С 1954 г. по 1960 г. – работала в ЛТИ им. Ленсовета младшим научным сотрудником аспирантом, на кафедре «Физическая химия силикатов» и «Технология керамики».
В 1960 г. – защитила кандидатскую диссертацию в ЛТИ им. Ленсовета.
В 1960-64 г. – работала в Челябинском политехническом институте старшим преподавателем и доцентом, создала учебные и образовательные циклы по 3 дисциплинам «Физическая химия силикатов».
В 1964-66 г. –работала в СКБ ВИС и НИИМЭ Зеленограда старшим научным сотрудником.
В 1973 г. – защитила докторскую диссертацию в НИИМЭ.
С 1966 г. по 2001 г. – работала заведующей кафедрой «Общей неорганической и аналитической химии».
С 2001 по 2004 г. – профессор-консультант кафедры «Общая химия и экология».
С 2004 г. - по настоящее время – на кафедре «Микроэлектроника» (ныне Институте НМСТ) в должности профессора-консультанта.
Достижения
- почетное звание «заслуженный деятель науки и техники РФ» 1998 г.
- лауреат Государственной премии 1999 г.
- орден почета и 4 медали СССР и РФ
- 3 золотых и 4 серебряных медалей ВДНХ
- заслуженный профессор МИЭТ
- почетный работник ВПО РФ
- кафедра под руководством Петровой В.З. дважды удостаивалась премии АН СССР «Лучшая работа года в области микроэлектроники»(1975, 1980)
- научная школа, возглавляемая В.З. Петровой, дважды входила в число победителей конкурса на соискание грантов президента РФ по государственной поддержке ведущих научных школ РФ (1996-1999 и 1999-2005)
- кафедра, руководимая В.З. Петровой, многократно завоевывала звание «Образцовая кафедра МИЭТ»
- кафедра под руководством В.З. Петровой занимала первые места за изобретательскую деятельность в МИЭТе
- награждена нагрудным знаком «Изобретатель СССР»
- являлась председателем оргкомитета трех Всесоюзных конференций, проводимых в МИЭТ (Зеленограде) «Неорганические стекловидные материалы и пленки в Микроэлектронике»
Дополнительная деятельность
Депутат Зеленоградского совета первого созыва (1965-1969 г.)
Председатель ученого совета МИЭТ по защитам кандидатских диссертаций (1975-1980 г.)
Постоянный член ученых Советов МИЭТ по защитам кандидатских и докторских диссертаций
Ученый секретарь ученого совета института (1967-1968 г.)
4 раза выдвигалась от института на городскую доску почета Зеленограда.
Общий научно-педагогический стаж – 65 лет, из них в МИЭТе – 54 года.
Под руководством В.З. Петровой были подготовлены такие выпускники, как:
- Ганьшин В.А. д.т.н. проф., организатор и создатель новой специальности в МИЭТ «Промышленная экология»
- Коркишко Ю.Н. д.ф.-м.н. проф. руководитель научного направления «Материалы оптоэлектроники», генеральный директор ООО «НПК «Оптолинк»»
- Федоров В.А. д.ф.-м.н. проф. зам. директора ООО «НПК» Оптиланк ООО «НПК «Оптолинк»
- Тимошенков С.П. д.т.н. проф. Заведующий кафедрой Микроэлектроника, Директор Института НМСТ
- Алексанян А.О. – Предприниматель группы предприятий медицинского профиля
- Андропнов Б.Н. – генеральный директор ООО «НПК» «Аксель» ООО «НПК «Аксель»»
- Тельминов А.И. – зам. префекта г. Зеленограда (2001-2010 г.)
- Плеханов А.П. – проректор по учебной работе политехнического института г. Вологда, профессор
- Малюков С.П. д.т.н. проф., академик РАЕН, зав. кафедрой конструирования электронных средств Южного Федерального Университета (г. Таганрог).
Читаемые курсы
Начиная с 1966 г. читала следующие курсы:
1. Химия в микроэлектронике
2. Неорганическая химия
3. Специально разработанный курс лекций для заведующих кафедрами и преподавателей химии вузов страны в системе ФПК совместно с МХТИ им. Менделеева
- Особенности методики преподавания химии для ВУЗов электротехнического и микроэлектронного профиля
- Стекловидные диэлектрики и пленки в микроэлектронике.
- Особенности лабораторного практикума и семинаров в свете новейших научных достижений в области науки и технологии химии
- Ознакомление с химическими лабораториями предприятий микроэлектроники г. Зеленограда;
- Специфика лекционного ассистирования лекций по курсу «Химия в микроэлектронике»
4. Специально разработанные курсы для специалистов (МЭП) в области микроэлектроники с уклоном материалы и применение многокомпонентных стекловидных диэлектриков в микроэлектронике на факультете ФПК (факультет повышения квалификации) в МИЭТе. (1969-2000 гг.)
В 1991-1992 г. кафедра впервые в МИЭТе создала учебный комплекс по курсу неорганической химии в стандарте МИЭТ и получила серебряную медаль ВДНХ.
Научная деятельность
Области научных интересов:
Профессор В.З. Петрова – руководитель научной школы по направлению «Материалы и технологические процессы для изготовления структур» кремний на изоляторе (КНИ), многослойные структуры элементов микросистемной техники (тонкопленочная и толстопленочная технологии), разработка новых высокоточных методов и средств измерений оптических параметров диэлектриков.
Ряд работ, выполненных под руководством Петровой В.З., использованы в разработках аэрокосмической аппаратуры, в том числе аппаратуры, побывавшей на поверхности Луны. Эти работы в 1988 г. отмечены Государственной премией СССР с коллективом авторов, внедривших многочисленные разработки материалов и технологий на нескольких предприятиях СССР.
Под руководством В.З. Петровой защитили 78 кандидатских, и 6 докторских диссертаций и многочисленные студенческие дипломные работы по названному научному направлению в период 1975-2005 годов.
Под руководством В.З. Петровой получено 160 авторских свидетельств и 10 патентов.
Автор более 600 научных трудов и 40 учебных пособий в т.ч. с соавторами.
Наиболее значимые публикации:
- Химия в микроэлектронике (в 2 частях) – М: МИЭТ, 1995
- Теоретические основы химических процессов. Учебное пособие для дистанционного обучения. – М: МИЭТ, 1999
- Свойства химических элементов и их соединений. Учебное пособие для дистанционного обучения с грифом РФ М. МИЭТ, 2000
- Методы исследования состава и структуры материалов электронной техники. Учебное пособие с грифом РФ - М. МИЭТ, 1997
- Материалы и технология толстых пленок. Учебное пособие с грифом РФ - М. МИЭТ, 1997.