| Подразделение | Должность |
| Институт нано- и микросистемной техники | доцент |
Телефон:
(499) 720-87-68
Сайт:
http://cathedra.me/
Аудитория:
4112
Краткая биография
С 1966 по 1972 гг. – студент факультета электронной техники МЭИ
С 1972 по 1975 гг. работал инженером в НИИТТ
С 1975 по 1978 гг. – аспирант на кафедре экспериментальной и теоретической физики МИЭТ
С 1978 по 1980 гг. работал ведущим инженером в НИИМВ
С 1989 года по настоящее время работает преподавателем на кафедре микроэлектроники
Читаемые курсы
- Физические основы микро- и наноэлектроники
- Технология и конструирование интегральных микросхем
- Технология микроэлектроники
- Микроэлектроника
- Технологические процессы изготовления интегральных микросхем
- Технология и организация производства продукции и услуг
- Материалы и элементы электронной техники
- Твердотельная электроника
Научная деятельность
Области научных интересов:
- технология пленочных покрытий
- технология сборки, монтажа и герметизации изделий электронной техники
- методы создания герметичной МЭА с контролируемыми параметрами внутрикорпусной среды
- конструкции, технологии, контроль параметров изделий микросистемной техники
Автор более 150 научных трудов, в том числе 9 изобретений, 7 учебных пособий