Краткая биография

Свою трудовую деятельность Неустроев С.А. начал на заводе станочником в 1942 г. на Урале. После окончания Уральского политехнического института работал в системе Министерства среднего машиностроения на заводе инженером. Разработанные с его участием технологические процессы и аппараты были внедрены в производство, подготовлена и защищена кандидатская диссертация (1963 г.) Работа была продолжена в НИИ точного машиностроения в г. Зеленограде, а с 1969 г. в МИЭТ.

По инициативе Неустроева С.А. в НИИТМ впервые для разложения летучих элементоорганических соединений с целью получения твердых покрытий и химически-активных частиц была применена плазма газового ВЧ-разряда. Были разработаны плазмохимические установки для осаждения пленок диэлектриков, травления фоторезистов, кремния и его соединений, металлов, которыми в последующем была оснащена электронная промышленность. Работая на кафедре специальных материалов электроники МИЭТ, Неустроев С.А. продолжил исследование плазмохимических процессов, а также принимал участие во внедрении разработанных установок в операциях герметизации и формирования многоуровневой разводки ИС, травления кремния для тренчевой изоляции, удаления фоторезиста и др. Итогом этих исследований стала защита докторской диссертации в 1974 г. результаты исследований были использованы в учебном пособии «Плазмохимические процессы в электронике», курс по которому читался автором в МИЭТ более 20 лет.

Трудовая деятельность Неустроева С.А. высоко оценена: он награжден медалью «За доблестный труд в Великой Отечественной Войне 1941-45 гг.» и др. За многолетнюю учебно-педагогическую и научную деятельность и большой вклад в подготовку высококвалифицированных кадров С.А. Неустроев награжден знаком «Почетный работник высшего профессионального образования», имеет почетное звание «Заслуженный профессор МИЭТ».