Калугин Виктор Владимирович доктор технических наук, профессор

Краткая биография

Родился в 1973 г., закончил МИЭТ в 1996 г.

С 1995 г. по 2002 г. работал на ОАО «Ангстрем» в должностях травильщика прецизионного травления, инженера.

Являлся аспирантом МИЭТ с 1998 г. по 2001 г. В 2001 г. защитил диссертацию на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06.

Докторант МИЭТ с 2003 г. по 2006 г. В 2008 г. защитил диссертацию на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.06.

Сотрудник МИЭТ в должности доцента с 2003 г., профессора с 2009 г. по настоящее время.

Выполняет различные виды учебной и методической работы: читает лекции, проводит семинарские и лабораторные работы, руководит курсовым и дипломным проектированием, производственной практикой.

Заместитель директора по науке института НМСТ ЦФК «Микросистемная техника и технология электронных устройств», НОЦ «Микросистемная техника», НИЛ «Нано- и микроэлектромеханические системы», УНЦ «Mentor Graphics — МИЭТ».

Под его руководством были защищены четыре кандидатские диссертации по тематике структур КНИ и МЭМС. Были выполнены двадцать три выпускные квалификационные работы бакалавров, специалистов и магистров. В настоящее время Калугин В.В. является руководителем одного аспиранта.

Калугин В.В. является членом диссертационных советов Д212.134.04 и Д212.134.06 при МИЭТ.

Ученый секретарь конференции «Микроэлектроника и информатика-2015, 2016, 2017, 2018, 2019» (4 секция).


Читаемые курсы

  • Технологические и защитные среды для производства изделий микро- и наноэлектроники
  • История и методология науки и техники в области конструирования и технологии электронных средств
  • Физико-химические основы технологии ЭВС

Научная деятельность

Области научных интересов:

Калугин В.В. является руководителем и ответственным исполнителем ряда НИР и ОКР, выполняемых в институте. Работы, в которых принимает участие в настоящее время, выполняются в рамках федеральных целевых программ: «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014 - 2020 годы», «Развитие оборонно-промышленного комплекса Российской Федерации на 2011 – 2020 г.г.» и др.

Основными направлениями научной деятельности являются:

  • разработка научных основ создания сложнопрофильных многослойных структур КНИ с использованием стеклообразных материалов для элементов микромеханики и ИС;
  • разработка комплекса технологических решений в области микросистемной техники и создания датчиков угловой скорости, датчиков ускорений, микроповоротных зеркал и других МЭМС.

Достижения:

Является соавтором двадцати патентов на изобретения и полезных моделей, таких как: «Микромеханический вибрационный гироскоп и способ его изготовления», «Способ компенсации растрава внешних углов фигур травления на кремниевой пластине с ориентацией (100)», «Микромеханический датчик линейных ускорений» и др.

Публикации:

Автор и соавтор более 190 печатных работ, 6 учебных пособий, 5 лабораторных практикумов.

В рамках инновационных программ разработаны 3 учебно-методических комплекса.

Список наиболее значимых опубликованных работ за последнее время:

- Шалимов А.С., Кочурина Е.С., Калугин В.В., Тимошенков С.П. Разработка и моделирование МЭМС-устройств // Учебное пособие. ISBN 978-5-7256-0919-6. М.: МИЭТ. 2019. -144 с.

- Korobova N., Razzhivalov P., Kalugin V. Complex modeling of thermal calculation for device determing the star coordinates // Proceedings of the 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2019. Volume 2019. P. 2003-2007.

- Kyaw Myo Aung, Kalugin Victor V, Simonov Boris M and Kyaw, Zin Linn The investigation of three types of comb-drive actuator for MEMS inclinometer // Proceedings of the 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018. Volume 2018-January, 14 March 2018, Pages 1743-1745. 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018; Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI"St. Petersburg and Moscow; Russian Federation; 29 January 2018 до 1 February 2018. P.1743-1748.

- Калугин В.В., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Головинский М.С., Шалимов А.С. Оценка работоспособности чувствительного элемента преобразователя линейных ускорений и расчет основных параметров // ПРИБОРЫ. Приборы и средства автоматизации. №9 (219). 2018. С.1-5.

- Timoshenkov, S., Kalugin, V.,Korobova, N., Shalimov A.; Kalmikov D.; Golovinsky M.; Kyaw Myo Aung Zhora, V., Plis, N. Providing of MEMS inclinometer operation under external influencing factors // 2017 IEEE 37th International Conference on Electronics and Nanotechnology, ELNANO 2017 – Proceedings. 7939721, Киев. Украина. с. 88-91.

- Minaev V. S., Parfenov N. M., Timoshenkov S. P., Vassiliev V. P., Kalugin V. V., Mukimov D. Zh. It not Time to Go back to Tamman's Tg? // Russian Microelectronics, 2017, Vol. 46, No. 8, pp. 612–621.

- Тимошенков С.П., Шалимов А.С., Головинский М.С., Калугин В.В., Коробова Н.Е., Тимошенков А.С., Анчутин С.А. Маршрут проектирования МЭМС-акселерометра, оптимизированного по выбранным параметрам для обеспечения возможности самокалибровки // Нано- и микросистемная техника. – 2017. – Т. 19. – №12. – С. 707 – 713.

- Minaev V., Timoshenkov S., Vasiliev V., Aleksandrovich E., Kalugin V. The concept of polymer nano-heteromorphic structure and relaxation of the glass-forming substance by chalcogenides, oxides and halides example. Some results and perspective // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Vol.18, No. 1-2, January-February 2016. P. 10-23.

- Тимошенков С.П., Калугин В.В., Парфёнов Н.М., Анчутин С.А, Кочурина Е.С, Мукимов Д.Ж., Чжо Мьё Аунг Исследование и разработка методов оценки основных параметров микромеханических преобразователей линейного ускорения // "Мехатроника, Автоматизация, Управление". №6. Том 16. 2015. С. 422—426.

Повышение квалификации за последние 3 года:

по программе «Настройка, конфигурирование, тестирование системы сбора обработки и визуализации информации», удостоверение от 10.12.2018 № 772406313698.

Участие в конференциях:

1. IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), Zelenograd, Russia. 2018, 2019.

2. Международной научно-практической конференции. «Интеллектуальные системы и микросистемная техника». Россия, Кабардино-Балкария, пос. Эльбрус. 2017, 2018, 2019.

3. Международная конференция «Микро- и наноэлектроника или « Micro- and Nanoelectronics –” (ICMNE-2016, 2018).

4. Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». г.Алушта. 2016, 2017, 2018.

5. Международная научно-техническая конференция "МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЯ В ЭЛЕКТРОНИКЕ", 2018 г.

6. Международная конференция «Инновационные подходы к решению технико-экономических проблем». 2018 г.

7. Intеrnational Conference on Amorphous and Nanostructured Chalcogenides Romania. 2017.