| Подразделение | Должность |
| Институт нано- и микросистемной техники | профессор |
Краткая биография
Родился в 1973 г., закончил МИЭТ в 1996 г.
С 1995 г. по 2002 г. работал на ОАО «Ангстрем» в должностях травильщика прецизионного травления, инженера.
Являлся аспирантом МИЭТ с 1998 г. по 2001 г. В 2001 г. защитил диссертацию на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06.
Докторант МИЭТ с 2003 г. по 2006 г. В 2008 г. защитил диссертацию на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.06.
Сотрудник МИЭТ в должности доцента с 2003 г., профессора с 2009 г. по настоящее время.
Выполняет различные виды учебной и методической работы: читает лекции, проводит практические занятия и лабораторные работы, руководит практикой студентов, выпускными квалификационными работами бакалавров и диссертациями магистров.
Заместитель директора по науке института НМСТ, начальник НИЛ «Нано- и микроэлектромеханических систем».
Под его руководством были защищены четыре кандидатские диссертации по тематике структур КНИ и МЭМС. Были выполнены двадцать три выпускные квалификационные работы бакалавров, специалистов и магистров. В настоящее время Калугин В.В. является руководителем двух аспирантов.
Калугин В.В. является членом диссертационных советов Д212.134.04 и Д212.134.06 при МИЭТ.
Ученый секретарь конференции «Микроэлектроника и информатика» (4 секция).
Член редколлегии научно-практической конференции «Интеллектуальные системы и микросистемная техника».
Почетный работник сферы образования Российской Федерации.
Повышение квалификации за последние 3 года:
«Настройка, конфигурирование, тестирование системы сбора обработки и визуализации информации», 72 часа, удостоверение от 10.12.2018 № 772406313698.
«Теория и практика создания онлайн-курсов», 72 часа, удостоверение от 01.07.2019 №772406314042.
«Тепловые микроэлектромеханические сенсоры», 72 часа, удостоверение от 21.02.2020 №772410637871.
«Основы работы в электронной информационно-образовательной среде вуза, 16 часов, удостоверение от 27.08.2020 №772412352329.
«Подготовки педагогических работников по оказанию первой помощи», 16 часов, удостоверение от 25.09.2020 №18в/16.
Читаемые курсы
- Технологические и защитные среды для производства изделий микро- и наноэлектроники
- История и методология науки и техники в области конструирования и технологии электронных средств
- Физико-химические основы технологии ЭВС
- Методология конструкторского проектирования микроэлектронной аппаратуры
Научная деятельность
Области научных интересов:
Калугин В.В. является руководителем и ответственным исполнителем ряда НИР и ОКР, выполняемых в институте.
Основными направлениями научной деятельности являются:
- разработка научных основ создания сложнопрофильных многослойных структур КНИ с использованием стеклообразных материалов для элементов микромеханики и ИС;
- разработка комплекса технологических решений в области микросистемной техники и создания датчиков угловой скорости, датчиков ускорений, микроповоротных зеркал и других МЭМС.
Достижения:
Является соавтором 22-х патентов на изобретения и полезных моделей, таких как: «Микромеханический вибрационный гироскоп и способ его изготовления», «Способ компенсации растрава внешних углов фигур травления на кремниевой пластине с ориентацией (100)», «Микромеханический датчик линейных ускорений» и др.
Публикации:
Автор и соавтор более 235 печатных работ, 6 учебных пособий, 5 лабораторных практикумов.
Список наиболее значимых опубликованных работ за последнее время:
- Шалимов А.С., Кочурина Е.С., Калугин В.В., Тимошенков С.П. Разработка и моделирование МЭМС-устройств // Учебное пособие. ISBN 978-5-7256-0919-6. М.: МИЭТ. 2019. -144 с.
- Калугин В.В., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Головинский М.С., Шалимов А.С. Оценка работоспособности чувствительного элемента преобразователя линейных ускорений и расчет основных параметров // ПРИБОРЫ. Приборы и средства автоматизации. №9 (219). 2018. С.1-5.
- Minaev V. S., Parfenov N. M., Timoshenkov S. P., Vassiliev V. P., Kalugin V. V., Mukimov D. Zh. It not Time to Go back to Tamman's Tg? // Russian Microelectronics, 2017, Vol. 46, No. 8, pp. 612–621.
- Minaev V., Timoshenkov S., Vasiliev V., Aleksandrovich E., Kalugin V. The concept of polymer nano-heteromorphic structure and relaxation of the glass-forming substance by chalcogenides, oxides and halides example. Some results and perspective // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Vol.18, No. 1-2, January-February 2016. P. 10-23.
- Timoshenkov, S., Kalugin, V., Anchutin, S., Kochurina, E. ANSYS simulation of the microaccelerometer sensor // Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, ICMNE 2018. Zvenigorod.
- Тимошенков С.П., Калугин В.В., Анчутин С.А., Зарянкин Н.М., Кочурина Е.С. Особенности конструкции и технологии изготовления чувствительного элемента микроакселерометра // Наноиндустрия. Номер: S (89). 2019. С. 480-483.
- Victor V. Kalugin, Elena S. Kochurina, M. N. Zariankin, A. S. Anchutin, Nyan Linn Phyo Research and Development of the Deep Plasma-Chemical Silicon Etching Process for the Creation of a Silicon Element with a Vertical Profile // Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2020. Volume 2020. P. 2144-2148.
- Тимошенков С. П., Анчутин С. А., Зарянкин Н. М., Калугин В. В., Кочурина Е. С., Тимошенков А. С., Боев Л. Р. Проектирование и изготовление чувствительного элемента МЭМС-акселерометра // НАНО- И МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА, Том 23, № 2, 2021. С. 63-67.
Kochergin M.D., Anchutin S.A., Zaryankin N.M., Kochurina E.S., Kalugin V.V. Development of a Micromechanical Accelerometer // Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. Volume 2021. P. 2442 - 2445.
Участие в конференциях:
1. IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), Zelenograd, Russia. 2018, 2019, 2020, 2021.
2. Международной научно-практической конференции. «Интеллектуальные системы и микросистемная техника». Россия, Кабардино-Балкария, пос. Эльбрус. 2017, 2018, 2019, 2020, 2021.
3. Международная конференция «Микро- и наноэлектроника или « Micro- and Nanoelectronics –” (ICMNE-2016, 2018, 2021).
4. Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Крым. 2016, 2017, 2018, 2019, 2020, 2021
5. Международная конференция «Инновационные подходы к решению технико-экономических проблем». 2018, 2019, 2020, 2021
6. Intеrnational Conference on Amorphous and Nanostructured Chalcogenides Romania. 2017.