| Подразделение | Должность |
| Институт интегральной электроники имени академика К.А. Валиева (ИнЭл) | профессор |
Краткая биография
Окончил Ленинградский Государственный Университет, физический факультет по специальности «Физическая электроника; физика полупроводников» в 1969 г. До 1980 г. работал в Ленинградском ФТИ им.А.Ф. Иоффе. С 1980 г. работал в НИИМЭ, ИРЭ РАН, МИЭТ. В 1975 г. защитил диссертацию на соискание к.ф.-м.н., в 1995 г. защитил диссертацию на соискание д.ф.-м.н. Автор и соавтор более 60 научных работ.
Читаемые курсы
- Аналитические методы исследования изделий микроэлектроники и наноэлектроники (ЭН-14М)
- Элементный базис нано- и микросистемной техники
Научная деятельность
В настоящее время работает ведущим научным сотрудником в НТЦ НМСТ лаб. «Аналитические методы исследования поверхности» (МИЭТ).
Область научных интересов
- физика полупроводников,
- физика поверхности,
- методы исследования поверхности твердого тела,
- технологические аспекты нано- и микроэлектронных приборов,
- гетероструктуры с 2-D электронным газом и применение их в микроэлектронной элементной базе.
Основные публикации.
Енишерлова К.Л., Темпер Э.М., Колковский Ю.В., Медведев Б.К., Капилин C.А. Пленки ALD Al2O3, SiNx и SiON в качестве пассивирующих покрытий в AlGaN/GaN HEМТ//Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2019;22(3):202-211.