МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта
Авторизация

Путря Михаил Георгиевич

доктор технических наук, профессор
Путря Михаил Георгиевич
Телефон: (499) 720-85-11
Факс: (499) 710-22-33
E-mail: ftdek@miee.ru
Аудитория: 4243

ПодразделениеДолжность
Кафедра интегральной электроники и микросистемпрофессор

Краткая биография

Родился в 1955 году. Выпускник МИЭТа 1978 года.

В МИЭТе работает с 1978 г: инженер, научный сотрудник, старший научный сотрудник, начальник сектора, начальник лабора­тории, начальник отдела НПК «Технологический центр» МИЭТа (до 1999); доцент (1999 - 2002), профессор (с 2002 г.) кафедры интегральной электроники и микросистем.


Читаемые курсы

  • Технология ИМС

Научная деятельность

Ученый в области технологии СБИС и плазменной обработки нано- и микроструктур

Автор более 130 научных работ (включая 17 изобретений), в т.ч.:

  • Исследование процессов травления микроструктур в высокочастотной плазмe // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. — 1999. — № 2; Implementation of High-density plasma reactors in VLSI Technology // Problems of Submicron Technology. — 2000. — V. 16.
  • Research and Development of Deep Anisotropic Plasma Silicon Etching Process to Form MEMS Structures. Russian Microelectronics, 2012, Vol. 41, No. 7, pp. 9–13
  • Оценка надежности алюминиевой металлизации интегральных схем при проведении. Известия вузов. Электроника. №1(87), с. 35-39, 2014 г.
  • Определение электромиграционных параметров металлических проводников на основе проведения ускоренных испытаний. Известия вузов. Электроника. Том 20, №2, 2015 г., с.182-187
  • Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – Ч. 2. – Вып. 2. Под ред. Чаплыгина Ю.А.
  • Введение в дизайн фотошаблонов для изготовления микро- и наносистем. Cadence MaskCompose. Изд-во Бином, 2013 г. под. Редакцией В.А. Беспалова
  • Нанотехнологии в электронике. Изд-во Техносфера. 2013 г. Под ред. Чаплыгина Ю.А.