| Подразделение | Должность |
| Институт перспективных материалов и технологий | профессор |
Краткая биография
В 1990 году закончил МИЭТ по специальности «Полупроводники и диэлектрики».
С 1990 года работает в МИЭТ.
В 1990-1992 работал в должности инженера-стажера кафедры Физико-химических основ технологии микроэлектроники;
В 1993 году поступил, в 1995 году закончил аспирантуру МИЭТ, в 1996 году получил ученую степень кандидата технических наук, защитив диссертацию «Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС» по специальности 05.27.06;
В 1998 году поступил, в 2000 году закончил докторантуру МИЭТ, в 2001 году получил ученую степень доктора технических наук, защитив диссертацию «Материалы и процессы формирования Многослойной металлизации кремниевых СБИС» по специальности 05.27.06;
С 2001 года работал в должности профессора кафедры Материалов и процессов твердотельной электроники;
В 2009 году стал заведующим кафедрой Материалов и процессов твердотельной электроники;
В 2010 году получил ученое звание профессора кафедры Материалов и процессов твердотельной электроники;
С 2012 года после объединения кафедр работал в должности профессора кафедры Материалов функциональной электроники;
С 2014 работает главным научным сотрудником кафедры Материалов функциональной электроники, теперь института Перспективных материалов и технологий.
В 2016 году стал лауреатом премии Правительства РФ в области образования.
Научная деятельность
Ученый в области технологии тонких пленок, наноматериалов и нанотехнологий. Подготовил 6-х кандидатов наук. Автор свыше 300 научных и учебно-методических трудов, 20 патентов на изобретения.
Область научных интересов
- тонкие пленки металлов и сплавов, их получение и свойства;
- твердофазное взаимодействие, фазовые переходы, физическая химия наноразмерных систем;
- технология интегральных схем;
- материалы и процессы формирования наноструктур.
Наиболее важные публикации за последние 5 лет
Belov A.N., Bulyarsky S.V., Gromov D.G., Pavlova L.M., Pyatilova O.V. Study of silver cluster formation from thin films on inert surface // Calphad: Computer Coupling of Phase Diagrams and Thermochemistry, 2014, v.44, p.138-141. https://doi.org/10.1016/j.calphad.2013.07.017 (WoS; Scopus - 13 цитирований; IF=1.935, Q1)
Gromov D.G., Pavlova L.M., Savitsky A.I., Trifonov A.Yu. Nucleation and growth of Ag nanoparticles on amorphous carbon surface from vapor phase formed by vacuum evaporation // Appl. Phys. A, 2015, v. 118, p. 1297–1303. https://doi.org/10.1007/s00339-014-8834-0 (WoS; Scopus - 8 цитирований; IF=1.604, Q2)
Gromov D.G., Pavlova L.M., Savitskii A.I., Trifonov A.Yu. Investigation of the Early Stages of Condensation of Ag and Au on the Amorphous Carbon Surface during Thermal Evaporation under Vacuum // Physics of the Solid State, 2015, Vol. 57, No. 1, pp. 173–180. https://doi.org/10.1134/S1063783415010126 (WoS; Scopus - 11 цитирований; IF=0.925, Q2)
Mierczynski P., Vasilev K., Mierczynska A., Maniukiewicz W., Ciesielski R., Rogowski J., Szynkowska I. M., Trifonov A. Yu., Dubkov S.V., Gromov D. G., Maniecki T. P. The effect of gold on modern bimetallic Au-Cu/MWCNT catalysts for oxy-steam reforming of methanol // Catal. Sci. Technol., v. 6, No 12, 2016, p. 4168-4183. https://doi.org/10.1039/c5cy01667c (WoS; Scopus - 16 цитирований; IF=5.365, Q1)
Gromov D.G., Bulyarskii S.V., Pavlov A.A., Scorik S.N., Shulyat'ev A.S., Trifonov A.Yu. Catalytic CVD-growth of array of multiwall carbon nanotubes on initially amorphous film Co–Zr–N–O // Diamond & Related Materials, Vol. 64, 2016, p. 97–102. https://doi.org/10.1016/j.diamond.2016.01.023 (WoS; Scopus - 6 цитирований; IF=2.232, Q1)
Mierczynski P., Dubkov S.V., Bulyarskii S.V., Pavlov A.A., Skorik S.N., Trifonov A.Yu., Mierczynska A., Kitsyuk E.P., Gavrilov S.A., Maniecki T.P., Gromov D.G. Growth of carbon nanotube arrays on various CtxMey alloy films by chemical vapour deposition method // Journal of Materials Science & Technology, 2018, v. 34, No 3, p. 472-480. https://doi.org/10.1016/j.jmst.2017.01.030 (WoS; Scopus - 2 цитирования; IF=3.609, Q1)
Mierczynski P., Mierczynska A., Ciesielski R., Maniukiewicz W., Rogowski J., Maniecki T.P., Dubkov S., Sysa A., Gromov D., Szynkowska M.I., Vasilev K. Modern Ni and Pd–Ni Catalysts Supported on Sn–Al Binary Oxide for Oxy-Steam Reforming of Methanol // Energy Technology, v. 6, No 9, 2018, p.1687-1699. https://doi.org/10.1002/ente.201700840 (WoS; Scopus - 0 цитирований; IF=3.175, Q1)
Dubkov S., Gromov D., Savitskiy A., Trifonov A., Gavrilov S. Alloying effects at bicomponent Au-Cu and In-Sn particle arrays formation by vacuum-thermal evaporation // Mater. Res. Bull., 2019, v.112, p. 438–444. https://doi.org/10.1016/j.materresbull.2018.10.003 (WoS; Scopus - 0 цитирований; IF=2.873, Q2)
Sorokina L.I., Lebedev E.A., Trifonov A.Y., Gromov D.G. Investigation of compound formation sequence in Al/Ni/…/Al/Ni multilayer system under conditions of an excessive amount of one component and its prediction using the analogy with gas system behavior // Heliyon, v. 5, No 2, 2019, e01267; https://doi.org/10.1016/j.heliyon.2019.e01267 (WoS; Scopus - 0 цитирований; IF=нет, Q1)