МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта

Громов Дмитрий Геннадьевич

доктор технических наук, профессор
Громов Дмитрий Геннадьевич
Телефон: (499) 720-85-49 25-33
E-mail: gromadima@gmail.com

ПодразделениеДолжность
Институт перспективных материалов и технологийпрофессор

Краткая биография

Образование

1990, Московский институт электронной техники.

1996, кандидат технических наук, Московский институт электронной техники.

2000, доктор технических наук, Московский институт электронной техники.

Занимаемые должности

1990 -1992 – инженер-стажер кафедры физико-химических основ технологии микроэлектроники;

1993 -1995 – очный аспирант кафедры Физико-химических основ технологии микроэлектроники;

1998 - 2000 – докторант кафедры Физико-химических основ технологии микроэлектроники;

2001 - 2009 – профессор кафедры материалов и процессов твердотельной электроники;

2009 - 2012 – заведующий кафедрой материалов и процессов твердотельной электроники;

C 2013 г. – профессор кафедры материалов функциональной электроники.


Научная деятельность

Область научных интересов

  • тонкие пленки металлов и сплавов, их получение и свойства;
  • твердофазное взаимодействие, фазовые переходы, физическая химия малоразмерных систем;
  • технология интегральных схем;
  • материалы и процессы формирования наноструктур.

Участие в организациях

Член диссертационного совета Д212.134.03 (МИЭТ);

Публикации

Опубликовано около 160 работ, автор 13 патентов

Наиболее важные публикации за последние 5 лет

Громов Д.Г., Гаврилов С.А., Редичев Е.Н., Аммосов Р.М. Кинетика процесса плавления-диспергирования тонких пленок меди. Физика твердого тела, 2007, т.49, вып.1, с.172-178.

Белоусов С.С., Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Редичев Е.Н., Чулков И.С. Исследование и моделирование температуры плавления малоразмерных систем // Известия вузов. Электроника. №1, 2007, с. 15-21.

Буздуган А.А., Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Редичев Е.Н., Чулков И.С. Феноменологическое описание процесса диспергирования на капли тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на инертной поверхности Al2O3 // Известия вузов. Электроника. №2, 2007, с. 21-28.

Громов Д.Г., Гаврилов С.А., Никитин А.В., Редичев Е.Н., Чулков И.С. Периодические структуры Cu/ITO, их оптические и электрофизические свойства // Материалы, процессы и оборудование нано-, микро- и оптоэлектронике: Сборник научных трудов. / Под ред.Ю.Н.Коркишко. –М.: МИЭТ, 2008, с. 21-28.

Буздуган А.А., Громов Д.Г., Гаврилов С.А., Чулков И.С. Гетерогенное плавление и диспергирование тонких пленок // Под ред.Ю.Н.Коркишко. –М.: МИЭТ, 2008, с. 66-86.

Громов Д.Г., Редичев Е.Н., Гаврилов С.А., Буздуган А.А., Чулков И.С., Сагунова И.В. Исследование свойств тонких пленок ZnO, полученных методом магнетронного распыления на холодную подложку// Сб. докл. Харьковской нанотехнологической ассамблеи – 2008. Нанотехнологии (Том I). Харьков: ННЦ ХФТИ, 2008, с. 64-68.

Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. Металлизация ультрабольших интегральных схем // Учебное пособие, под ред. Ю.А. Чаплыгина /М.: Бином, 2009, -277 с.

Громов Д.Г., Гаврилов С.А. Проявление гетерогенного механизма при плавлении малоразмерных систем // Физика твердого тела, 2009, т. 51, вып. 10, с. 2012-2021.

Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Жигальский Г.П., Карев А.В., Кареев И.А., Чулков И.С. Шмелев С.С. Исследование шума вида 1/f в наноразмерных пленках золота // Известия вузов. Электроника. №6 (80), 2009, с. 37-43.

Gromov D. G., Gavrilov S. A., Redichev E. N., Chulkov I. S., Anisimov M. Y., Dubkov S. V., Chulkov S. I. Non-monotonic dependence of temperature of Au nanometer films dissociation into droplets on their thickness on Al2O3 surface // Appl. Phys. A, v.99, 2010, p. 67-71.

Gromov D.G., Gavrilov S.A., Dubkov S.V. Formation of carbonic nanostructures using PECVD and glowdischarge plasma at direct current // International Conference on Micro-and Nano-Electronics 2009, edited by K.A.Valiev, A.A.Orlikovsky, Proceedings of SPIE, Vol. 7521 (SPIE, Bellingham, WA, 2010) p.75210Y1-75210Y8.

Громов Д.Г., Жигальский Г.П., Карев А.В., Кареев И.А., Чулков И.С. Шмелев С.С. Флуктуационные явления в пленках никеля нанометровой толщины вблизи температуры плавления // Известия вузов. Электроника. №3 (83), 2010, с. 31-37.

Дубков С.В., Гаврилов С.А., Громов Д.Г., Красулин Г.А. Низкотемпературный процесс формирования углеродных трубчатых и графеновых структур // Известия вузов. Электроника. №4 (84), 2010, с. 28-32.

Gromov D.G., Gavrilov S.A., Redichev E.N., Dubkov S.V. Melting and dissociation of thin Au films into droplets on the inert Al2O3 surface under thermal treatment // Trends in Physical Chemistry, v.14, 2010, p.45-51.

Акуленок М.В., Андреев В.М., Громов Д.Г., Зиновьев Д.В., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Тузовский К.А. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ под ред.Ю.Н.Коркишко. – М.: Бином. Лаборатория знаний, Т.2: Технологические аспекты. – 2011, –252 с.

Громов Д.Г., Шулятьев А.С., Редичев Е.Н., Берестов А.Т. Влияние толщины и числа слоев на оптические и электрофизические свойства периодической структуры на основе Cu/ZnO:Ga // Известия вузов. Электроника. №4 (90), 2011, с. 9-13.

Gromov D.G., Gavrilov S.A. Heterogeneous Melting in Low-Dimensional Systems and Accompanying Surface Effects // in book “Thermodynamics - Physical Chemistry of Aqueous Systems” / Edited by Juan Carlos Moreno-Piraján. InTech publisher, 2011, ISBN 978-953-307-979-0, - 434 p.

Громов Д.Г., Козьмин А.М., Поломошнов С.А., Шулятьев А.С., Шаманаев С.В. Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах // Нано- и микросистемная техника. – №12. 2011. с.27-30.

Dubkov S. V., Gavrilov S. A., Gromov D. G., Krasulin G. A. Low-Temperature Process of the Formation of Tubular and Graphene Carbon Structures // Semiconductors, 2011, Vol. 45, No. 13, pp. 1705–1708.

Gromov D. G., Zhigalskii G. P., Karev A. V., Karev I. A., Chulkov I. S., Shmelev S. S. Fluctuation Phenomena in Nanoscale Nickel Films Nearthe Melting Point // Semiconductors, 2011, Vol. 45, No. 13, pp. 69–73.