АО «НПП «ЭСТО» поставило в МИЭТ отечественную установку плазмохимического травления с роботизированной системой загрузки
АО «НПП «ЭСТО» завершило поставку и успешно провело пуско-наладочные работы комплекса плазмохимического травления в Национальный исследовательский университет МИЭТ — ведущий центр подготовки кадров и научных разработок в сфере микро- и наноэлектроники.
В рамках проекта Передовой инженерной школы «Средства проектирования и производства электронной компонентной базы» (ПИШ МИЭТ) АО «НПП «ЭСТО» приняло участие в оснащении научно-исследовательских лабораторий «Лазерные технологии микроэлектроники» (НИЛ ЛТМ) и «Материалы устройства активной фотоники» (НИЛ МУФ). Компания поставила, подключила, протестировала и ввела в эксплуатацию комплекс оборудования для проведения плазмохимического травления – одного из ключевых процессов современного производства изделий микроэлектроники.
«Этот проект — яркий пример того, как отечественная инженерная мысль, подготовленная в стенах МИЭТ, сегодня возвращается в университет в виде передового оборудования. Мы не просто поставляем технику — мы возвращаем знания в академическую среду, где они будут умножаться новыми поколениями инженеров», — отметил Виталий Разумов, финансовый директор АО «НПП «ЭСТО».
Плазмохимический комплекс будет использоваться для выполнения образовательных и научно-исследовательских задач, а также для отработки новых технологий в рамках разработки и изготовления перспективных изделий микроэлектроники и фотоники. Использование современного производственного оборудования в учебном процессе особенно важно для формирования у студентов и аспирантов практических навыков, необходимых как для решения передовых научных и исследовательских задач, так и для интеграции и применения новых разработок и подходов в производстве.
«Для меня особенно ценно, что оборудование, над которым мы работали в ЭСТО, теперь стоит в МИЭТ. Оно даёт студентам возможность не просто изучать процессы травления по учебникам, а сразу работать с реальными производственными технологиями, которые уже сегодня используются в российской микроэлектронике», — отметил Данил Челапкин, первый заместитель генерального директора АО «НПП «ЭСТО».
В состав поставки вошла не только установка травления, но и отечественный робот-перегрузчик, предназначенный для автоматической загрузки и выгрузки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Это решение исключает ручное вмешательство на критических этапах, повышает воспроизводимость процессов и соответствует требованиям современных технологических линий.
«Оснащение научно-исследовательских лабораторий современным производственным оборудованием позволяет не только упростить отработку новых технологии, но и провести проверку совместимости технологических процессов, нового оборудования и материалов. В настоящий момент сотрудниками лаборатории в кооперации с технологами АО «НПП ЭСТО» и НПК «Технологический центр» запущены совместные работы по отработке режимов селективного травления различных функциональных материалов, применяемых в устройствах интегральной фотоники», — сообщил Пётр Лазаренко, зам. директора Института ПМТ и начальник лаборатории «Материалы и устройства активной фотоники» МИЭТ.
Комплекс полностью разработан и произведён в России и является важным элементом обеспечения технологического суверенитета в электронной промышленности. Его поставка в МИЭТ — не только реализация задачи импортозамещения, но и подтверждение готовности отечественного оборудования к решению сложных задач в области передовой микроэлектроники и фотоники.
«Взаимодействие между учеными и индустриальными партнерами позволяет ускоренно создавать новые прорывные технологии, которые востребованы отраслью. МИЭТ при участии компании ЭСТО осуществляет опережающую подготовку кадров по современным научно-техническим заделам, что в свою очередь повышает конкурентоспособность выпускников МИЭТ на рынке труда», — отметил Алексей Дронов, проректор по научной работе, заместитель директора Института ПИШ МИЭТ.
Компания сделала значительный вклад в развитие направления фотоники в МИЭТ и намерена и впредь поддерживать научные и образовательные инициативы университета, укрепляя экосистему отечественных технологий. Следует отметить, что в АО «НПП «ЭСТО» трудятся выпускники МИЭТ, которые вносят значимый вклад в проектирование, сборку и настройку высокотехнологичного оборудования. Их глубокая экспертиза — результат совместной работы науки, образования и производства.