Завтра состоится школа молодых исследователей

26 апреля с 10:00 в библиотеке МИЭТ будет проводиться научная школа для молодых исследователей «Использование синхротронного излучения для разработки и исследования перспективных материалов и наноструктур для технологии рентгеновской литографии». Мероприятие проходит в рамках XXXI Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика – 2024».

В программе доклады приглашенных специалистов:

• «Источники рентгеновского излучения для рентгеновской литографии» – Валерий Носик, д.ф.-м.н., НИЦ «Курчатовский институт», ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН

• «Механические свойства тонких пленок и расчет механических напряжений в многослойных структурах» – Сергей Лычев, д.ф.-м.н., ведущий научный сотрудник; Александр Дигилов, младший научный сотрудник, Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН

• «Возможности создания рефракционной оптики для использования в рентгеновской литографии» – Дмитрий Зверев, к.ф.-м.н., научный сотрудник МНИЦ «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс», Балтийский федеральный университет им. И. Канта

• «Многослойные рентгеновские зеркала для излучения длиной волны 13,5 нм и менее» – Владимир Полковников, к.ф.-м.н., заведующий лабораторией физики и технологии многослойных структур, Института физики микроструктур РАН

• «Расчет рефракционной оптики для безмасочной рентгеновской литографии» – Виктор Корнеев, к.т.н., доцент Института интегральной электроники им. академика К.А. Валиева МИЭТ

Более подробно с программой можно ознакомиться по ссылке.

Школа проводится в рамках выполнения проекта «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения», реализуемому в соответствии с соглашением о предоставлении гранта № 075-15-2021-1350 от 05.10.2021 (внутренний номер 15.СИН.21.0004) по Федеральной научно-технической программе развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027 годы.

По всем вопросам обращаться:
Тел.: +7 (499) 720-69-07, +7 (910) 484-04-25
e-mail: info@ckp-miet.ru
124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл..Шокина, дом 1, НИУ МИЭТ.
124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, д.6, ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ.