Молодой ученый МИЭТа получил грант Президента

Победу одержал проект «Разработка и исследование передовых способов микросборки кремниевых пластин с использованием технологии временного бондинга и высокопрочных мембран» под руководством к. т. н., начальника научно-исследовательской лаборатории «Микросборка нано- и микросистемной техники» МИЭТ Евгения Гусева.

Конкурс для молодых ученых проводился Советом по грантам Президента Российской Федерации в октябре 2021 года. К участникам предъявлялись жесткие требования: наличие ученой степени, возраст не старше 32 лет, наличие статей в журналах из перечня ВАК и патентов на изобретение. Необходимо было в кратчайшие сроки составить календарный план работ, утвердить смету расходов, найти соисполнителей гранта.

Целью проекта стало решение проблемы совместимости технологического оборудования компаний. «Данная идея возникла в процессе мозгового штурма в ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ при активном участии Николая Алексеевича Дюжева и Максима Александровича Махибороды. Научный задел, сформированный мной в аспирантуре, позволил разбить сложную цель на относительно простые задачи при составлении календарного плана работ» – поясняет Евгений Эдуардович.

Выполнение проекта открывает ряд перспектив и технологических преимуществ. Компания, работающая на автоматизированном оборудовании под 150 мм (например, АО «ЗНТЦ»), сможет выполнить технологические операции с пластинами диаметром 100 и 76 мм. Стоимость нового оборудования или замена текущей оснастки оборудования значительно превышает стоимость разрабатываемого продукта. При использовании результатов проекта можно интегрировать технологические возможности разных компаний в области микроэлектроники.

Проект завершится 31 декабря 2023 года. Сумма проекта 1 млн 200 тысяч (по 600 тысяч ежегодно).