Шифр совета | 24.2.342.03 |
Дата размещения объявления | 11.10.2024 |
Соискатель | Тимаков Алексей Валерьевич |
---|
Название диссертации | Физико-технологические решения создания межсоединений металлизации высокотемпературных кремниевых ИС на основе сплавов вольфрама |
---|
Дата защиты | 12.12.2024 |
---|
Шифр | 2.2.2. |
---|
Специальность | Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств |
---|
Отрасль науки | Технические науки |
---|
Автореферат | Загрузить
|
---|
Текст диссертации | Загрузить
|
---|
Решение ДС о приеме к защите диссертации | Загрузить
|
---|
Отзыв научного руководителя | Загрузить
|
---|
Сведения о ведущей организации | АО "НИИ Молекулярной электроники": 124460, Россия, Москва, г. Зеленоград, улица Академика Валиева, 6/1; +7(495)229-72-99; niime@niime.ru; https://www.niime.ru. |
---|
Сведения об оппонентах | Амиров Ильдар Искандерович - доктор физико-математических наук (05.27.01), заведующий лабораторией технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН НИЦ "Курчатовский институт";
Зайцев Александр Анатольевич - кандидат технических наук, старший научный сотрудник лаборатории "In situ диагностика структурных превращений" НИТУ МИСИС, доцент кафедры Порошковой металлургии и функциональных покрытий НИТУ МИСИС. |
---|