12 марта 2020 года размещена на сайте НИУ МИЭТ и находится на рассмотрении диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук Бокарева Валерия Павловича
Диссертация | |
---|---|
Шифр совета | Д 212.134.03 |
Дата размещения объявления | 12.03.2020 |
Соискатель | Бокарев Валерий Павлович |
Название диссертации | Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники |
Шифр | 05.27.06 |
Специальность | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Отрасль науки | Технические науки |
Текст диссертации | Загрузить |
Ведущая организация | |
Оппоненты | |
Результаты защиты |