Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти

24 сентября 2019 года размещена на сайте НИУ МИЭТ и находится на рассмотрении диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Федотова Сергея Дмитриевича

Диссертация
Шифр советаД 212.134.03
Дата размещения объявления24.09.2019
СоискательФедотов Сергей Дмитриевич
Название диссертацииРазработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками
Шифр05.27.06
СпециальностьТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Отрасль наукиТехнические науки
Текст диссертацииЗагрузить
Ведущая организация
Оппоненты
Результаты защиты