24 сентября 2019 года размещена на сайте НИУ МИЭТ и находится на рассмотрении диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Федотова Сергея Дмитриевича
Диссертация | |
---|---|
Шифр совета | Д 212.134.03 |
Дата размещения объявления | 24.09.2019 |
Соискатель | Федотов Сергей Дмитриевич |
Название диссертации | Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками |
Шифр | 05.27.06 |
Специальность | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Отрасль науки | Технические науки |
Текст диссертации | Загрузить |
Ведущая организация | |
Оппоненты | |
Результаты защиты |