Установка для ионного травления и полировки Fischione Model 1060

Двухлучевая установка ионного травления и полировки Fischione Model 1060 предназначена для высококачественной подготовки образцов для РЭМ, РМА и Оже-спектроскопии. Дает возможность анализа глубоких слоев без искажения информации развитием рельефа различными видами травления, получение прецизионных полированных шлифов.

Двухлучевая установка ионного травления и полировки Fischione Model 1060

Технические характеристики:

• два ионных источника;
• формирование полированных шлифов под углами 0-10° на глубину до 2 мм;
• возможность загрузки образцов диаметром 25 мм и высотой более 10 мм;
• вращение образца на 360⁰;
• непрерывное изменение диапазона энергии ионов от 0,1 кэВ до 6,0 кэВ;
• плотность ионного тока до 10 мA/см²;
• технологический газ – аргон (Ar);
• вакуум в рабочей камере не хуже 5∙10^-2 Па.