Научно-исследовательская лаборатория «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» (НИЛ ИИ)
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-120
Стилусный профилометр Alpha-Step D-120 компании KLA-Tencor представляет собой высокочувствительный автоматизированный профилометр, предназначенный для измерения высоты ступеньки, шероховатости и волнистости поверхности в различных приложениях. Он способен с высокой точностью измерять высоты ступенек в диапазоне от 10 Å до 1,2 мм. В профилометре реализован новый механизм измерения высоты на основе оптического отклонения луча и система магнитостатического регулирования усилия, которые обеспечивают малое измерительное усилие (минимальное усилие – 0,03 мг) и малую инерционность контактного зонда (стилуса), что делает данный профилометр инновационным настольным прибором, способным проводить измерения на гибких пленках и подложках без повреждения поверхности. Профилометр Alpha-Step D-120 дает возможность проводить доступные по цене измерения с высоким разрешением, которые прекрасно дополняют другие аналитические инструменты.
Стилусный профилометр KLA-Tencor Alpha-Step D-120
Оптическая схема стилусного профилометра Alpha-Step D-120
Графический интерфейс Alpha-Step D-120 является мультидокументным и позволяет отображать данные сканирования одновременно с процессом сканирования, что дает возможность пользователю анализировать данные и одновременно выполнять дополнительные измерения. В интерфейсе Alpha-Step D-120 все окна являются независимыми, это означает что и панели управления, и окна вывода данных, и окна сканирования в реальном времени, а так же окна с итоговыми результатами сканирования могут быть размещены в любом месте экрана. Эта особенность делает интерфейс Alpha-Step D-120 гибким и мощным инструментом для получения и анализа данных.
Благодаря сервоприводам предметного столика профилометр позволяет проводить автоматические измерения в различных координатах образца. Программное обеспечение Alpha-Step D-120 позволяет автоматически расставлять уровни на полученных изображениях, измерять параметры изображений и выводить полученные результаты в удобном виде таблицы пригодной для использования в MS Excel.
Измерение пленки толщиной 17 нм на поверхности плоского образца
- длина получаемого изображения 55 мм;
- диапазон перемещения по вертикали до 1,2 мм;
- предметный столик (диаметр 200 мм) с сервоприводами для установки образца;
- диапазон перемещений предметного столика 150×178 мм;
- контролируемое усилие воздействия в диапазоне 0,03 мг – 10 мг.
Данные технические характеристики предоставляют стилусному профилометру Alpha-Step D-120 широкий спектр применений для научно-исследовательской деятельности. В качестве дополнительного оборудования для Alpha-Step D-120 прилагается камера с зум-объективом и 4-х кратным увеличением для абсолютно точной визуализации образца и виброизоляционный стол, который устраняет механические вибрации профилометра во время работы. Стилусный профилометр Alpha-Step D-120 обеспечивают комплексное решение задач инженерного и исследовательского профиля.